4. Зонная очистка германия
Для глубокой очистки поликристаллического германия применяется зонная плавка – метод горизонтальной направленной кристаллизации, осуществляемый тигельным способом.
Данный метод основан на различной растворимости примесей в твердой и жидкой фазах. При перемещении слитка через нагреватель расплавленная зона перемещается по слитку, и растворенные примеси, переходя через границу раздела твердой и жидкой фаз, накапливаются в расплаве и переносятся к концу слитка. Процесс проводится в атмосфере проточного водорода на многотрубных печах с индукционным нагревом и заключается в многократном перемещении узких участков расплавленной зоны вдоль слитка.
Конечным продуктом процесса является германий поликристаллический зонноочищенный с формой поперечного сечения в виде сегмента или трапеции, который является исходным сырьем для выращивания монокристаллов, либо готовым продуктом для производства сплавов, напылений и эпитаксии.